Berita Industri

Desain ruang bersih semikonduktor harus mengikuti secara ketat standar Asosiasi Peralatan dan Bahan Semikonduktor Internasional dan "Spesifikasi Desain Pabrik Bersih Industri Elektronik". Proses desain harus didasarkan pada konsep manajemen risiko, mempertimbangkan persyaratan proses, kontrol lingkungan, keamanan operasional dan elemen lain. Kelas kamar bersih harus ditentukan sesuai dengan persyaratan proses, biasanya wilayah inti memerlukan tingkat ISO 3-5, akurasi kontrol suhu dan kelembaban harus mencapai ± 0,1 ° C dan ± 1% RH。

Persyaratan desain bangunan

Menggunakan konsep tata letak modular, dengan jelas membagi area proses inti, area bantuan, area peralatan dan daerah fungsional lainnya. Peralatan proses harus diatur sesuai dengan urutan proses, dan jalur pengiriman bahan dipersingkat. Ruang pembersihan personel harus diatur di pintu masuk area bersih, termasuk proses penuh seperti mengganti sepatu, menyimpan baju, mandi, memakai pakaian bersih.

Ruang bersih semikonduktorTinggi bersih seharusnya tidak kurang dari 3,0 meter, ketinggian lapisan teknis tidak kurang dari 1,8 meter. Jarak peralatan harus mempertimbangkan kebutuhan pemeliharaan operasional, lebar saluran utama tidak kurang dari 2,0 meter. Area instalasi peralatan besar harus mengatur pintu masuk peralatan, ukuran memenuhi persyaratan masuk dan keluar peralatan maksimum.

Standar Sistem Pembersihan Udara

Daerah inti menggunakan aliran satu arah vertikal, kecepatan angin dikontrol pada 0,45 ± 0,1 m / s. Tingkat penuh kain filter efisien tidak kurang dari 80%, tingkat pembukaan grid angin kembali tidak kurang dari 50%. Jumlah pertukaran udara di daerah aliran non-satu arah tidak kurang dari 50 kali / jam, memastikan aliran udara didistribusikan secara merata.

Perbedaan tekanan antara area bersih dan non-bersih tidak kurang dari 15Pa, dan perbedaan tekanan antara ruang bersih tingkat yang berbeda tidak kurang dari 10Pa. Gradien perbedaan tekanan harus mengikuti prinsip penurunan dari area bersih tinggi ke area bersih rendah. Daerah kritis harus mengatur sensor diferensi tekanan untuk pemantauan waktu nyata.

Ketiga, standar kontrol parameter lingkungan

presisi kontrol suhu kamar bersih semikonduktor 22 ± 0,5 ℃ (zona fotografi); akurasi kontrol kelembaban relatif 45 ± 3%; Sensor suhu dan kelembaban harus diatur satu titik pengukuran per 100 meter persegi; Sistem harus memiliki kemampuan responsif yang cepat dan fluktuasi suhu dan kelembaban tidak melebihi rentang pengaturan.

Kontrol kebersihan ≥ 0,1 μm konsentrasi partikel tidak lebih dari 10.000 pcs / m3 (ISO kelas 5); ≥ 0,3 μm konsentrasi partikel tidak lebih dari 1020 pcs / m3 (ISO kelas 5); Amplitude wilayah peralatan presisi kontrol getaran mikro tidak lebih dari 1μm; Kontrol permukaan listrik statis adalah 106-109 Ω.

Standar Konfigurasi Utilitas

Resistansi sistem air murni ≥18.2MΩ · cm (25 ℃); Total kandungan karbon organik ≤5μg / L; Jumlah total bakteri ≤10CFU / 100ml; Sistem menggunakan pasokan air siklus, kecepatan aliran tidak kurang dari 1m / s.

Pipa gas khusus kamar bersih menggunakan stainless steel kelas EP; Kemurnian gas ≥99,999%; Kandungan partikel ≤0.1μm; Dilengkapi dengan pemantauan online dan perangkat pemotongan darurat.

Standar desain anti-mikrovibrasi

pengaturan dasar independen dari peralatan presisi anti-vibrasi struktural; Kontrol frekuensi getaran struktur di bawah 25Hz; Menggunakan isolator musim semi, efisiensi isolasi getaran tidak kurang dari 95%; Yayasan isolasi dari dasar peralatan dan struktur bangunan.

Peralatan anti-getaran kipas angin, pompa air dan peralatan daya lainnya mengatur dasar pengurangan getaran; pengaturan koneksi fleksibel sistem pipa; gantung pipa angin menggunakan gantung pengurangan getaran; Mesa kerja peralatan presisi mengatur alat isolasi udara mengambang.